Níže jsou uvedeny výhody a nevýhody křemíkových rezonančních tlakových senzorů ve srovnání s jinými běžnými typy tlakových senzorů:
Výhody
Vysoká přesnost:Křemíkové rezonanční tlakové snímače jsou založeny na vibračním principu rezonátorů. Hodnotu tlaku vypočítají měřením vlivu tlaku na frekvenci vibrací rezonátorů. Tato metoda měření jim umožňuje dosáhnout extrémně vysokého rozlišení a přesnosti měření. Obecně může přesnost dosáhnout 0,01 % nebo dokonce vyšší, což je o 1 až 2 řády vyšší než u tradičních snímačů tlaku, jako je typ tenzometru a piezorezistivní typ. Může splňovat různé požadavky na vysokou{7}}přesnost měření, například přesné měření parametrů, jako je statický tlak a rychlost vzduchu v leteckém datovém systému letadla v oblasti letectví a kosmonautiky.
Vysoká stabilita:Samotný silikonový materiál má vysokou elasticitu a vysokou stabilitu. Kromě toho je vnitřní struktura snímače jednoduchá, bez mechanických pohyblivých částí a není snadno ovlivněna faktory, jako je opotřebení a únava. Proto má dlouhodobou-stabilitu a spolehlivost. Nemusí být kalibrován po dobu pěti po sobě jdoucích let provozu a lze zanedbat vlivy teploty a statického tlaku. Je vhodný pro aplikační scénáře s extrémně vysokými požadavky na stabilitu, jako je řízení chemických výrobních procesů v průmyslové automatizaci.
Silná anti{0}}rušení:Výstupem je frekvenční signál. Tento digitální signál není snadno ovlivněn vnějšími faktory, jako je elektromagnetické rušení. Ve srovnání s některými tlakovými senzory, které vydávají analogové signály, může přenášet naměřená data přesněji ve složitých elektromagnetických prostředích a lze je použít v prostředích s relativně silným elektromagnetickým rušením, jako je motorový prostor automobilů.
Nízká spotřeba energie:Díky jednoduché vnitřní struktuře a absenci složitých mechanických pohybů nebo součástí s vysokou{0}}spotřebou energie- je jeho spotřeba energie extrémně nízká. To je velmi výhodné pro některá přenosná zařízení napájená bateriemi nebo systémy s přísnými požadavky na spotřebu energie, jako například u přenosných lékařských monitorovacích zařízení.
Malé rozměry, nízká hmotnost a snadná integrace:Křemíkové rezonanční tlakové senzory využívají mikro-nano výrobní procesy, které mohou realizovat funkci měření tlaku v relativně malé velikosti. Navíc je lze snadno integrovat s jinými elektronickými součástkami nebo systémy a mohou vyhovět potřebám různých miniaturizovaných a lehkých zařízení.
Nevýhody
Vyšší náklady:Výrobní proces křemíkových rezonančních tlakových snímačů je poměrně komplikovaný. Vyžaduje vysoce-přesné mikro-technologie zpracování nanotechnologií a speciální materiály, což má za následek relativně vysoké výrobní náklady a dražší ceny produktů. To do určité míry omezuje její propagaci v některých rozsáhlých-scénářích aplikací, které jsou citlivé na cenu, jako jsou běžné domácí spotřební elektronické výrobky.
Omezený rozsah měření:Ve srovnání s některými tlakovými senzory s širokým rozsahem měření je rozsah měření křemíkových rezonančních tlakových senzorů relativně úzký. Obecně je vhodný pro měření středních a nízkých tlakových rozsahů. U některých speciálních aplikací, které vyžadují měření extrémně vysokých nebo extrémně nízkých tlaků, nemusí být schopno splnit požadavky. Například existují omezení v aplikacích, jako je hlubinná-detekce vysokého{4}}tlaku v moři nebo měření ultra-vysokého vakua.
Citlivé na změny teploty:Přestože křemíkové rezonanční tlakové senzory samy o sobě mají relativně dobrou teplotní stabilitu, přesto mohou být za určitých extrémních teplotních podmínek do určité míry ovlivněny. Navíc je jejich technologie teplotní kompenzace poměrně komplikovaná a vyžaduje přesnější obvody nebo algoritmy teplotní kompenzace pro zajištění přesnosti měření v širokém teplotním rozsahu, což zvyšuje složitost a náklady systému.
Komplexní excitační a detekční metody:Křemík nemá piezoelektriku, takže je poměrně obtížné dosáhnout buzení a příjmu rezonance. Je třeba přijmout speciální metody buzení, jako je elektrostatické buzení, elektromagnetické buzení a termoelektrické buzení, stejně jako odpovídající detekční techniky. Implementace těchto metod buzení a detekce je poměrně komplikovaná, což zvyšuje konstrukční a výrobní potíže senzoru a také klade vyšší požadavky na jeho spolehlivost a stabilitu.